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信息物理系统是在嵌入式系统、传感器技术和网络技术的基础上发展起来的，尤其是前两者的发展直接导致了信息物理系统概念的提出。
2006年2月，美国发布的《美国竞争力计划》将信息物理系统列为重要的研究项目。
2007年7月，美国总统科学技术顾问委员会（PCAST）在题为《挑战下的领先——竞争世界中的信息技术研发》的报告中列出了八大关键的信息技术，其中信息物理系统位列首位，其余分别是软件、数据/数据存储与数据流、网络、高端计算、网络与信息安全、人机界面、NIT与社会科学。2007年，欧盟启动了ARTEMIS和EPoSS项目，在信息物理系统研究领域投入超过70亿美元；2015年，欧盟又发布《CyPhERS CPS欧洲路线图和战略》，期望在信息物理系统研究方面取得国际领先地位。
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